לייצור מכשירי מוליכים למחצה מתקדמים, כל אחד לאחר תהליך, פני השטח של פרוסת הסיליקון יהיו פחות או יותר נוכחות של מזהמים חלקיקים, שאריות מתכת או שאריות אורגניות וכו', גודל התכונה של המכשיר המצטמצם ותלת מימד מבנה המכשיר של המורכבות ההולכת וגוברת של התקן מוליכים למחצה על זיהום חלקיקים, ריכוז הטומאה ומספר רגישים יותר ויותר.
על מסכת פרוסות סיליקון על פני השטח של חלקיקי הזיהום של טכנולוגיית הניקוי מציבה דרישות גבוהות יותר, נקודת המפתח היא להתגבר על זיהום המיקרו-חלקיקים והמצע בין הספיחה הגדולה, יצרני מוליכים למחצה רבים של שיטות הניקוי הנוכחיות הם שטיפת חומצה, ניגוב ידני, שלא לדבר על היעילות של האיטי, אבל גם מייצרת זיהום משני. איזו שיטת ניקוי מתאימה יותר לניקוי מוצרי מוליכים למחצה? ניקוי בלייזר מתאים כיום יותר לדרך, כאשר הלייזר סורק את העבר, הלכלוך משטח החומר מוסר, ובשביל הפער בלכלוך ניתן להסיר בקלות, לא ישרוט את פני החומר, ולא ייצור משני זיהום, הוא בחירה בטוחה.
עם גודל מכשיר המעגל המשולב ממשיך להתכווץ, תהליך הניקוי של אובדן חומר וחספוס פני השטח הפך לדאגה חובה, החלקיקים יוסרו ללא אובדן חומר ונזק גרפי הוא הדרישות הבסיסיות ביותר, לטכנולוגיית ניקוי הלייזר אין מגע, אין השפעה תרמית, לא ייצור נזק פני השטח לאובייקט המיועד לניקוי, ולא ייצור זיהום משני של שיטות הניקוי המסורתיות לא ניתן להשוות ליתרונות של הפתרון ל. התקני מוליכים למחצה.
